一直以來(lái)，光刻機(jī)被譽(yù)為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)皇冠上的明珠，由此可見(jiàn)其對(duì)半導(dǎo)體智造具有不可或缺的作用。據(jù)悉，光刻機(jī)按照用途可分為生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)、封裝芯片的光刻機(jī)以及用于LED制造領(lǐng)域的投影光刻機(jī)，其中用于生產(chǎn)的光刻機(jī)是中國(guó)在半導(dǎo)體設(shè)備制造上的大短板，國(guó)內(nèi)晶圓廠所需的High End 光刻機(jī)大多依賴(lài)進(jìn)口。

不過(guò)近幾年，我國(guó)相關(guān)部門(mén)、企業(yè)正在努力攻克High End光刻機(jī)，相信功夫不負(fù)有心人，要不了多久，我國(guó)將會(huì)在High End光刻機(jī)上有所突破。

說(shuō)到光刻機(jī)，其與音圈電機(jī)有著較為密切的關(guān)聯(lián)，那音圈電機(jī)在光刻機(jī)中具體作用是什么呢？音圈電機(jī)主要用于光刻機(jī)掩模臺(tái)系統(tǒng)，在該系統(tǒng)中音圈電機(jī)運(yùn)動(dòng)工況分為掃描運(yùn)動(dòng)和定位運(yùn)動(dòng)，其中掃描運(yùn)動(dòng)主要完成硅片曝光處理，該運(yùn)動(dòng)對(duì)定位精度以及速度穩(wěn)定性有非常高的要求，在穩(wěn)定基礎(chǔ)上追求時(shí)間的優(yōu)化。音圈電機(jī) 系統(tǒng)具有較低的阻尼比，是光刻機(jī)很重要的要件。

昆山同茂電子有限公司深耕音圈電機(jī) 的研發(fā)、智造和銷(xiāo)售十余年，成立以來(lái)始終以客戶(hù)訴求為設(shè)計(jì)導(dǎo)向，采用歐美技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和加工工藝，專(zhuān)業(yè)為客戶(hù)定制性能合理的音圈電機(jī)。目前同茂造音圈電機(jī)在光刻機(jī)領(lǐng)域也有實(shí)際應(yīng)用案例，像上海微電子就是咱同茂的合作客戶(hù)，先后多次從我司購(gòu)入高性能音圈電機(jī)用于產(chǎn)品中。

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